三軸加速度傳感器的主要類型有壓阻式、壓電式、靜電電容式三種，將測量對象的加速度轉換為傳感器單元的電阻/電壓/電容的變化，利用轉換電路將傳感器單元的變化值轉換為電壓值，根據信號進行放大和濾波處理，得到模擬量，將模擬量處理為合適的穩定的輸出信號，此時輸出的信號為電壓值，最后通過ADC轉換器（模數轉換器），轉換為數字信號。 三軸加速度傳感器的主要感應方式是測量電阻值、靜電電容值、應力、應變、位移等微小物理量的變化，并用電壓信號表現這些變化量。 是用于將加速度這一物理信號轉換為容易測量的電信號的測試儀器。 差容式力平衡加速度傳感器將測量的加速度轉換為電容器的電容變化。 實現這種功能的方法有可變間隙、可變面積、可變介電常數3種，差動式力平衡加速度傳感器利用可變間隙，且采用差動式結構，結構簡單，動態響應好，可進行無接觸式測量，靈敏度高，分辨率強由于自身電容一般很小，幾pF到幾百pF，其電容達到幾米的近年來，集成電路得到了廣泛應用，使電子電路與傳感器極板緊密接觸，逐漸克服了寄生電容、非線性等缺點。
搭載在壓縮機上的三軸加速度傳感器是由滾動軸承支撐的轉子，其振動傳遞到軸承蓋，安裝在軸承蓋上的振動速度傳感器利用內部的運動線圈切斷磁力線輸出電壓，將信號發送到監視器，測試機械故障并報警。
