微三軸加速度傳感器可用于測量軸承、軸承座或結構的振動。該傳感器測量的振動相對于自由空間的振動，其輸出電壓與振動速度成正比，因此也稱為速度式振動傳感器，可以將速度量積分后轉換為位移量。因為直接安裝在機器的外部，所以維護非常方便。在某些特殊條件下，由于某種原因無法安裝渦流傳感器，但這種類型的機器在軸的振動幾乎傳遞到殼體時，該振動可以使用安裝在殼體上的速度傳感器進行測量。但是，在大多數滑動軸承設備中，通常軸的振動傳遞到殼體時會衰減或分支，因此盡量使用渦流傳感器直接測量軸的振動更準確、更全面。
微型三軸加速度傳感器常用應用領域：
1、便攜設備的抗沖擊防護：便攜設備由于其應用場合的原因，往往會意外掉落、受到碰撞，對內部零件造成較大的沖擊。發生掉落時，系統會檢測加速的快速變化，關閉抗震性能較差的電子設備和機械設備以避免損壞、硬盤磁頭損壞或損壞磁盤等，從而執行可能長久丟失數據的自我保護操作。
2、虛擬現實：比如AR/VR、游戲機手柄等，通過掌握或手持的游戲裝備、手柄、傳感器同步感知人體加速度，根據加速度分析人體運動，在游戲屏幕上相應的游戲運動一些體感游戲也有和戶外運動一樣鍛煉的效果。
3、衛星導航：進入衛星信號接收不暢的區域或環境，失去信號失去導航功能。基于MEMS技術的三軸加速度傳感器結合陀螺、電子羅盤等元件建立方位估計系統，對GPS系統實現互補應用。
4、汽車電子領域：以車身安全系統為例，車身受到沖擊時，沖擊傳感器在幾微秒內向該電子控制器發送信號。然后，電子控制器立即根據碰撞強度、乘客人數、座位/安全帶位置等參數，根據分布在整個車廂的傳感器的數據進行計算和評估，在最短時間內用電動爆破驅動器啟動氣囊，保證乘客的生命安全。
